二手 NIKON NSR 1755 i7A #293681785 待售

NIKON NSR 1755 i7A是一種尖端晶片步進器設備,非常適合精密微光刻加工.它利用最新的對準、成像和照明技術,為客戶提供最高的精度和產量。該系統配備了一個創新的晶片級，能夠在掩模的任意點達到4nm的精度，每個周期可重復性高達1nm。這樣可以減少人工幹預,降低產品使用壽命期間的擁有成本。NIKON NSR 1755I7A還采用了高數值光圈NA 1.35鏡頭單元，以最大限度地提高圖像清晰度，用於高級特征檢測和提高叠加精度。這款鏡頭機還能產生4微米的音高分辨率，用於臨界區域功率規定。除了高精度和可重復性之外,NSR-1755I7A還包括先進的數字加工和光學加工技術套件,為用戶提供從中間到高復雜性的各種功能。其先進的數字加工功能包括150 nm螺距、多陣列加工、自動對準和部分曝光。其光學加工功能還包括100 nm螺距,以及3D寬SOR/WOM曝光和多孔徑曝光。NIKON NSR-1755 I7A設計用於管理晶圓步進光刻的整個過程,從對齊器設置到曝光後處理。它還提供了一系列集成的過程故障排除功能（光學對齊、可靠性檢查和異常檢測算法）以及廣泛的計量、模擬和分析工具選擇。該工具非常適合最復雜的半導體和MEMS生產應用的要求，其先進的規格（包括其高精度和可重復性、強大的數字加工和光學加工技術套件以及集成工藝故障排除功能）使其成為高級晶圓步進光刻的理想工具集。