二手 NIKON NSR 1755 i7A #9062546 待售

NIKON NSR 1755 i7A
ID: 9062546
i-Line stepper, parts system.
NIKON NSR 1755 i7A Wafer Stepper是一種成本效益高的石版印刷設備,專為生產各種晶圓圖案而設計。步進器使用先進的光學技術對晶片進行制圖,減少了對昂貴的光掩模的需求。步進器用於晶體管、互連和DRAM等成員的生產過程。NIKON NSR 1755I7A Wafer Stepper具有包括高精度、高動態級在內的高端閉環運動控制系統。舞臺面積950mm,精度0.1微米。它具有0.05度的旋轉精度,能夠執行晶片陣列所需的極其快速和精確的掃描和定位。步進器還具有一個全新的光學單元,有助於減少振動。NIKON先進鏡頭機提供0.51 nm的卓越分辨率和均勻的散焦能力。NSR-1755I7A Wafer Stepper配備了一次曝光工具和兩次曝光資產。一次曝光模型將數據從掩模傳輸到晶圓的曝光時間降至最低,而兩次曝光設備則允許多次曝光而不會造成掃描變形。步進器帶有專門的NikonVision模式生成系統。該模式生成單元提供交互式和自動掩碼模式生成,並具有交互式模式調整行為和缺陷識別程序。缺陷識別程序有助於最大限度地減少晶圓模式中的潛在缺陷。NIKON NSR-1755I7A Wafer Stepper有一臺先進的內置控制機器,叫做NikonStar。此工具控制所有必要的參數,如表位置、晶圓聚焦、曝光時間等。該資產還能夠自動校準晶圓對準,並對傾斜和機動進行調整和校正。步進器是一種可靠、經濟高效的晶片圖樣光刻解決方案。它具有先進的光學技術、強大的運動控制模型和NIKON專用的模式生成設備,以提供精確的晶圓模式。利用NSR-1755 I 7 A晶片步進器,可以快速、準確地完成晶片圖樣的大批量生產。
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