二手 NIKON NSR 1755 i7A #9062547 待售

NIKON NSR 1755 i7A是一種高精度晶圓步進器，專為研發應用而設計。其5軸對準設備確保了晶片的最佳定位和精確掃描，分辨率高達1納米。它有兩個5.5 kW的燈源和一個5 ″ NA 0.45的高通量照明器。該系統的主要特點是35的高伽馬設定，17.55英寸的最大光敏地面尺寸，以及沿X和Y軸突出的10納米位置精度。NIKON NSR 1755I7A在吞吐量和位置精度方面均優越。它還具有0.5毫秒的超短曝光時間,可穩定地保持曝光能量的輸出水平,以防止中性密度（ND）濾波器設置的變化。這樣可以實現更準確、更平坦的線條曝光,並獲得一致的結果。NSR-1755I7A有四個反射控制參數來優化其性能。它還具有傾斜和扭曲功能的3-D掃描儀，允許在剛性尺寸的晶片上進行高精度掃描。該設備還具有內置冗余功能,在制造細線寬的設備時提供了更高的可靠性,從而防止了造成陣列變形的情況。在成像方面，NIKON NSR 1755 I 7 A配備了先進的數字圖像捕獲機，能夠以優異的性能使用暗場成像。該工具還提供了高精度的對齊配準，使其適用於叠加測量、計量和檢查等應用。NSR-1755 I 7A對於那些希望獲得卓越吞吐量、位置精度、可靠性和成像能力的用戶來說,是一項出色的晶圓步進資產。考慮到它的低擁有成本和易用性，這是在像光掩模、半導體器件和MEMS這樣的多種研發領域進行高級光刻應用的理想平臺。