二手 NIKON NSR 1755 i7A #9212123 待售

NIKON NSR 1755 i7A是一種最先進的光刻生產工具。它是一種高精度的晶圓步進器，可以產生尺寸小至0.025 µm的先進的一級和兩級特性。設備的集成設計結合了高通量、加工能力和高產量制造的穩定性以及極低的產量損失。納米覆蓋和配準精度保證了良好的線寬控制和模具的均勻性.系統的核心是高精度的六軸運動機器人，保持納米精度，同時提供6G的最大加速度。它具有小於1nm的跟蹤可重復性。機器人進一步集成了高速照相面罩更換器和高精度基板和面罩對準器，以最大程度地減少設置時間。NIKON NSR 1755I7A的其他功能還包括一個可變的自動鏡頭對準單元，它能準確地保持對準和對焦質量，以及一個高靈敏度、寬範圍的曝光機，動態範圍為2個數量級。它還可以擴展和升級,以滿足未來的需求。NSR-1755I7A是為較長的循環時間和廣泛的基材而設計的。它設計用於在55至253毫米晶片之間安全加工，並可在低至16°C的溫度下運行，以確保邊緣的最小收縮。它還能夠處理每晶圓多達30次曝光，從而減少了整個周期的時間。功能豐富的NIKON NSR-1755 I 7A使得它成為許多光刻應用的首選，包括MEMS、光電器件和半導體。其先進的技術和高性能使其成為任何規模生產（從原型設計到全批量制造）的絕佳選擇。