二手 NIKON NSR 1755 i7A #9235673 待售

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NIKON NSR 1755 i7A
已售出
ID: 9235673
Steppers.
NIKON NSR 1755 i7A是一種高度先進的晶圓步進器,設計用於制造CMOS器件和其他敏感集成電路。它是來自NIKON的最先進的300 mm先進性能平臺的一部分。NIKON NSR 1755I7A的設計采用了由晶圓穩定單元(WSU)和基板運動步進驅動器(SMSD)組成的掃描級,都是為了確保晶圓的精確、高重復掃描。它使用專有的NSR-S202B光學透鏡,采用創新的低像差設計,即使在快速掃描的情況下也能顯示高分辨率圖像。NSR-1755I7A具有自動照明裝置,旨在確保曝光場在晶圓表面上的精確定位。它還包括一個六軸光束轉向單元,旨在通過直接控制光學元件的位置來實現曝光場的精確對準。NSR 1755I7A采用多標線檢查機構設計,旨在提高檢查和過程控制的準確性和可靠性。它還具有專有的反應性離子蝕刻(RIE)系統,旨在精確蝕刻晶圓表面以獲得最佳曝光面積。NSR 1755 i7A還設計了一套綜合的過程可變性監測工具。這包括高速基於圖像的叠加(IBO)功能,允許用戶監視和調整對齊精度以確保最大產量。它還包括一個綜合汙染控制系統,旨在測量和控制加工氣體中顆粒、水分和其他汙染物的水平。NSR 1755 I 7A設計用於提供高通量掃描驅動的晶片功能,允許用戶以微不足道的延遲從一個進程快速移動到下一個進程。它包括先進的運動控制和復雜的鏡頭校正功能,允許精確擴展曝光場和分辨率,以及精確的光束對準以獲得最佳結果。此外,NIKON NSR-1755 I 7 A設計方便地與現有的工廠集成,具有簡單的真空和過程氣體輸送以及通信接口。NIKON NSR-1755I7A旨在為當今最先進的流程提供無與倫比的性能。憑借強大的功能,用戶可以依靠NSR-1755 I7A來提供最高級別的生產效率。
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