二手 NIKON NSR 1755 i7A #9236936 待售

NIKON NSR 1755 i7A是為集成電路量產而設計的大型光刻設備。它是一個全場、無汙染、無害環境的系統。NIKON NSR 1755I7A在半導體器件制造中可實現高通量、高精度、高重復性。NSR-1755I7A利用500 mm的掃描字段,剩余掃描字段偏差（RMS）為0.5 μ m或更小。它支持每小時25.3晶圓的掃描速率,同時保持高分辨率和吞吐量。有效層聚焦深度（DOF）大於50 μ m，抗蝕劑放置平面度在0.18 μ m以內。該系統實現的高分辨率允許高達0.6 μ m的臨界尺寸變化。它還具有先進的激光叠加對準單元，可提供高達0.1 μ m的層間叠加精度。此外，該機配備了高靈敏度激光汙染還原系統，使吞吐量和產量得以提高。這是由於工具內置的晶圓汙染預防措施抑制了粒子進入光刻資產的可能性。它還利用先進的高精度減振系統來控制掃描光學和定位模型中的熱和電影響。此步進器還具有獨特的雙曝光設備、雙四頭掃描和先進的不依賴焦點深度掃描系統。雙曝光單元允許同時處理基板的相對側面，而不依賴聚焦深度的掃描機則降低了連續光敏層因DOF不對準而失效的可能性。總體而言,NIKON NSR-1755 I 7步進器是一種先進且可靠的光刻工具,具有許多最新技術。為集成電路的批量生產提供高吞吐量、高精度、高重復性。其先進的設計確保了生產各種集成電路設備的高性能和可靠的結果。