二手 NIKON NSR 1755 i7A #9247254 待售

NIKON NSR 1755 i7A是一種高端晶圓步進設備，為開發和制造錯綜復雜的微尺度模式進行了優化。它的最大分辨率為0.3µm，可以加工直徑高達200 mm的基板。步進器使用專利的NIKON N-Tilt級技術，允許在曝光時可控制的晶圓高精度對準。NIKON NSR 1755I7A還具有X/Y信息技術,可提高成像精度。該成像光學器件提供0.14倍的減少模式和吞吐量的0.4Gbps。NSR-1755I7A由兩臺功能強大的計算機提供動力,一臺用於控制系統,另一臺用於圖像處理和計算單元。控制機提供了多種編程功能，如一對用於自動過程優化的宏。此外，NIKON NSR-1755 I 7A能夠達到288個二進制控制通道和9個運動軸。該工具還包括用於精確放置有缺陷芯片的模具速度控制裝置。基板自動對齊單元可確保基板和曝光掩模之間的精確對齊。NSR-1755 I7A的保形曝光資產具有很高的吞吐量，平均收益率超過99%。NSR 1755I7A還配備了高精度的線性光對準模型。它具有高速曝光繪圖儀，並配備了實時圖像處理設備。步進器還支持板載系統進行缺陷審查，並支持允許機器處理多次曝光的連續報價和接受單元。此外,NSR 1755 I 7A還具有優化曝光過程的各種高級功能。它的x-shift和y-shift功能允許掩模相對於基板的精確定位，而其差分焦點補償（DFC）功能自動補償噪聲、焦點和失真。其自動張貼功能自動補償晶圓上的關鍵尺寸錯誤。最後,它的高級設計功能可實現高達1/100微米的對準精度和最大3 D z軸控制。