二手 NIKON NSR 1755 i7A #9248848 待售
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ID: 9248848
晶圓大小: 6"
優質的: 1991
Stepper, 6", parts system
System: PDP11/73
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: 6" Flat
Wafer stage screw: Ball screw
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Type 1
Flat type
Cassette (Left and right)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15/17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and chamber
Chamber model: ASAHI (S78)
Chamber size: 1500
VT286
Camera control unit
Video converter 2
VDA1401A
(2) Plates
LSA Laser tube
LC-SIG4
WGA Laser tube
X and Y Ball screw
X and Y Motor unit
AFINTF (AF68)
HEWLETT-PACKARD / AGILENT / KEYSIGHT 5517A Laser head
Z Motor unit
AF Motor unit
CT Unit
Pre 1, 2 units
Cassette plate
Vacuum box
(2) Laser power
Power supply
Fly eyes unit
(2) PLC CPU
Missing parts
1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A是一種高精度、下一代晶圓步進器，旨在滿足大型生產線的需求。其特性提供了無與倫比的吞吐量、緊密的特性和叠加配準。NIKON NSR 1755I7A配備了獲得NIKON專利的超高分辨率9軸掃描設備，用於精確的晶圓對準、薄膜鍍鉻的精確對準以及具有AE測量能力的高達0.5 μ m的步進和重復定位精度。此外,其內置的分光晶片步進系統還提供了一個獨特的功能,即視圖字段重叠,可快速對齊多次曝光。NSR-1755I7A由功能強大的基於Windows的7E控制器驅動,具有用戶友好的界面和通用的模式生成工具,便於操作和過程控制。該單元還附帶了NIKON i-Vision軟件包，該軟件包包含缺陷檢查和叠加控制功能。NIKON NSR 1755 I 7A結合了單顯微鏡方法，減少了機械零件的數量，簡化了對準程序。這允許快速曝光時間，使機器能夠產生高質量的圖像，即使在高對齊速度。NSR-1755 I 7 A的其他特性包括它的多重掩碼對齊工具，這確保了在同一個字段中添加的多個掩碼可以精確對齊；其自動縫合模式，可補償全球膠卷；以及濾波器對齊計量，消除了非標準的對齊精度模式。此外,NIKON NSR-1755 I 7 A非常適合不同的工藝環境,具有可配置的浸入式液位、多室配置和可選的zoner增壓器選項。它的模塊化設計使得安裝和維護更加容易。總體而言,NIKON NSR-1755I7A旨在提供快速的吞吐量和高精度圖像,並具有嚴格的配準、精度和叠加控制。這種晶片步進器是大型生產線晶片加工制造的理想選擇。
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