二手 NIKON NSR 1755 i7A #9250067 待售
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ID: 9250067
晶圓大小: 6"
優質的: 1991
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Inline + Cassette (L)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
VT286
Camera control unit
Video converter 2
VDA1401A
(2) Plates
LSA Laser tube
LC-SIG4
WGA Laser tube
X & Y Ball screws
X, Y & Z Motor units
AFINTF AF68
HP / HEWLETT-PACKARD 5517A Laser head
AF Motor unit
CT Unit
Pre 1&2 Units
Cassette plate
Vacuum box
(2) Laser power supplies
Power supply
Fly eyes unit
(2) PLC CPU
Missing parts
1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A是一種最先進的晶圓步進器，旨在滿足下一代半導體制造的需求。本機采用數字光學技術，在最先進的技術中，以緊密的特征控制和出色的叠加，對光掩模進行高分辨率成像。設備配置了兩根曝光光束，可處理12毫米至300毫米的一系列基板。它與晶片位置和對準的自動控制相結合.高精度3軸級與1軸傾斜控制相結合,確保可重復控制成像所需的所有軸。它能夠達到0.25 µm的最大分辨率，同時保持1.5µm以內的對準精度。NIKON NSR 1755I7A帶有一個自動化的過程控制平臺,允許用戶以最少的人工幹預來控制成像過程。這個控制平臺在整個任務周期中監視和調整暴露劑量水平和過程參數，從而優化成像質量。它具有很高的測量精度，可以檢測晶圓上的微小缺陷，並在不符合發生之前停止投影成像系統。此外,NSR-1755I7A還配備了高級數據分析和數據管理軟件,允許用戶分析圖像並捕獲數據以進行進一步分析。該數據分析和管理單元支持缺陷分析、劑量數據和其他質量控制參數的分析。NSR 1755 i7A具有很高的可靠性,並包含冗余組件,以確保生產應用程序的正常運行時間。它還設計了一個生態友好的焦點，減少水和能耗的操作，創造一個更好的環境。該機設計用於安全操作和維護，以確保長期性能。綜上所述，NSR-1755 I7A是一種先進、通用的晶圓步進器，旨在滿足下一代半導體制造的高需求。其數字光學技術和先進的過程控制平臺使用戶能夠在最高精度要求內實現最佳成像效果。
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