二手 NIKON NSR 1755 i7A #9250068 待售
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ID: 9250068
晶圓大小: 6"
優質的: 1990
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Cassette (L+R)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temp: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1990 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A是一種晶片步進器，配有高性能投影鏡頭，用於精確和高精度的操作。這種先進的設備專為15個nm節點及以下的節點而設計,具有全自動操作、卓越的覆蓋精度以及高達行業平均水平30%的吞吐量。NIKON NSR 1755I7A還提供了範圍廣泛的高程模式，從標準到超高精度模式，具有納米級精度。NSR-1755I7A具有基於中性粒子光學的新一代投影光學。此過程允許在15 nm節點及以下進行操作,而不會增加投影放大倍率。此外，投影圖像在整個視場上的均勻性也有所提高。加上基於CCD的自動對準系統，這種步進器提供了高度精確的晶圓對準，從而提高了覆蓋精度。NSR 1755I7A有一個12英寸的晶圓級，配備了無與倫比的2秒的跳動時間和一個基板傾斜校正單元。這臺機器可提供最大的吞吐量和產量,並且能夠在-50°C的極低溫度下運行,從而降低了與溫度相關的掩模模式過度暴露的風險。此外，NIKON NSR-1755 I7A配備了全自動過程控制工具，無需人工幹預即可實現準確、穩定的操作。它還具有先進的高靈敏度紅外對準資產，允許快速曝光對準，而無需光學對準模式。使用NIKON NSR 1755 I 7 A晶圓步進器,可以精確、均勻地投影復雜的掩模圖案,從而獲得極高的曝光質量。這與該型號的高吞吐量、低擁有成本和無與倫比的性能一起,使其成為下一代電子設備大批量生產的理想解決方案。
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