二手 NIKON NSR 1755 i7A #9254113 待售

NIKON NSR 1755 i7A是下一代沈浸式多束晶片步進器，設備面積950mm x 950mm。這款最新型號的NIKON NSR系列集成了一個創新的i7A引擎,可維護更少的曝光時間,提供出色的成像功能和高吞吐量。NIKON NSR 1755I7A基於獨特的數字多光束啟用平臺,可提高整體系統性能。該專利設備能夠每秒提供多達100次曝光,從而帶來前所未有的吞吐量。光學機器采用了具有5倍和1倍減小放大能力的七束投影儀。此高級資產大大提高了吞吐量,並提高了準確性和更高的統一性。光學元件安裝在可調節的直線級上,以確保成像靈活性和穩定的平臺。該型號配備了最小化振動、延長使用壽命的空氣軸承主軸。NSR-1755I7A設計用於各種基材，從薄膜石英到SOI晶片和厚玻璃。它配備了垂直和對角晶圓處理的大自動載荷區域。這樣可以一次裝載多達25個8英寸和8個12英寸晶圓。該設備還設計成適合任何潔凈室或生產環境,而無需進行其他修改。閉環E光柵和標線識別等先進技術提供了對曝光時間和最小步長的高度控制,以實現精確成像。NIKON NSR-1755I7A是一種高效、功能強大的晶圓步進器,適用於大批量生產環境。其先進的多波束技術實現了更高的吞吐量和均勻性。其可變光學系統提供精確的成像，其自動載荷區域使各種基板得以處理。它的開放式體系結構使維護成本和整體成本保持在較低水平,使NSR 1755 i7A成為多層流程應用程序的一個很好的單元。