二手 NIKON NSR 1755 i7A #9254167 待售
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ID: 9254167
晶圓大小: 6"
優質的: 1991
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball screw
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Inline and cassette (Left)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A是一種高精度晶圓步進器，用於在潔凈室環境中在半導體晶圓上制造集成電路。它是一種自動光刻工具，利用光根據預先編程的設計在晶圓表面上創建圖樣。NIKON NSR 1755I7A設計為提供高陣列精度,曝光面積為420mm,現場尺寸為5.7um。NSR-1755I7A配備了兩個獨立的光源。其中一個源是KrF Exculite激光器，提供248nm的波長和15ns的脈沖長度。該光源使機器能夠制造高保真度的光刻圖案。NIKON NSR-1755I7A還配備了Hamamatsu H8500光電倍增器,用於檢測光強度。通過這個輔助源，NIKON NSR 1755能夠精確地測量和控制KrF exculite激光器的光輸出。除了高精度設計外，NSR 1755 i7A還以容量大著稱。這個晶片步進器能夠步進2「-6」晶片，以及高達400mm平方的曝光模式。它還能夠每小時處理多達30個晶圓。此外，它的曝光頭是能夠精確的，可重復步驟和重復模式與0.1µm最大細胞大小。機器還包括一個高級級系統，它允許用戶快速定位晶圓在所需的坐標。它還包括各種用戶可配置的參數,從而實現精確的晶圓級控制。此自動精密曝光系統（APES）包括自動聚焦功能,可調整曝光設置以保持一致的高速和準確性。NIKON NSR 1755 I 7A是一種極可靠的晶圓步進器，適合苛刻的生產環境。它采用符合行業標準安全法規的先進安全協議進行設計，以確保清潔室的安全運行。其低維護需求和堅固的設計使其能夠長期連續運行。NSR 1755I7A是一種可靠、高性能的晶圓步進器,非常適合在清潔環境中制造復雜的半導體元件。其容量大、精度高、設計健壯，是目前最可靠的光刻系統之一。
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