二手 NIKON NSR 1755 i7A #9254168 待售
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ID: 9254168
晶圓大小: 6"
優質的: 1990
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball screw
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Cassette (Left and right)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1990 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A晶圓步進器是為半導體制造設計的先進曝光工具。它具有無與倫比的專業表現和創新水平。該i7A具有兩軸電動晶片級系統,可對基板進行高精度對準和跟蹤。它也有一個稱為自適應高步進精度(Adaptive High Step Accuracy,簡稱AHSA)的功能,可以快速準確的處理高解析度的模式。這臺機器能夠處理寬度在6到200毫米之間的晶片。它具有高達800毫米/秒的超高速掃描模式,並具有高精度控制器。這有助於確保晶片上模式的完美聚焦、對齊和曝光。它還具有一個稱為Sub-field Processing的獨特功能,使得多個字段可以同時處理。它還擁有一整套計量工具,允許用戶監控制造過程。該i7A還附帶了一種名為FEM (Fast Extreme Multi-field)軟件。此軟件使用戶能夠創建多種陣列技術,從而實現復雜而復雜的設計。最後,i7A采用了最先進的安全特性。其先進的安全選項包括雙側空氣爆炸風扇、防靜電屏障以及緊急停止功能。所有這些功能確保了操作過程中的最大安全性和可靠性。總之,NIKON NSR 1755I7A晶圓步進器是為先進的半導體制造商設計的尖端曝光工具。該i7A具有強大的掃描和計量學功能以及多用途的陣列選項,是任何嚴肅的晶圓處理任務的完美工具。
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