二手 NIKON NSR 1755 i7A #9279743 待售
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ID: 9279743
晶圓大小: 6"
Stepper, 6"
Wafer type: Flat
Wafer loader type: Type I
Leveling system: Claw system
Arm
Main body with chamber
Monitor
RA Microscope
Reticle loader:
Mask, 5"
Arm
Reticle library: Double film
13-Slot s
Wafer stage:
Chuck, 6"
LC Mirror.
NIKON NSR 1755 i7A是一種高端全場掃描晶片步進器，專門設計用於300毫米（12英寸）晶片。開發該掃描儀是為了提供高水平的覆蓋和CD（臨界維度）精度,即使在低劑量下也是如此。NIKON NSR 1755I7A配備了7英寸物鏡，並擁有兩面對準標記識別設備，包括用於精確對準和對準的四對準傳感器和可編程光電二極管陣列。改進的相機設計提供了改進的色差控制和卓越的分辨率。NSR-1755I7A配備了先進的磁通量分析系統，為高級節點和內存節點等各種光刻過程提供高水平的曝光控制和快速對齊叠加。晶片步進器還具有一個「自下而上」的配置單元，它支持最大焦點，因為它可以補償自下而上曝光時遇到的光學和機械不穩定。此外,NIKON NSR 1755 I 7A還包括一個可編程像差校正器,它提供了增強的景深控制和維護,以實現均勻的圖像質量。該裝置還包括一臺自動時鐘偏斜補償機，優化了線端縮短，提高了線緣粗糙度（LER）。NIKON NSR-1755I7A采用三區照明源,有助於提高吞吐量性能以提高吞吐量。掃描儀還支持使用非光刻屏蔽技術，包括納米印刷品光刻（NIL）和X投影對齊器（XPA）。NSR 1755 i7A是高吞吐量和低成本光刻應用的理想選擇。它結合了晶圓顏色標記以簡化對準標記識別，並且可以與多種先進的半導體薄膜一起使用。該裝置的設計有助於優化穩定性，提供有條件的關節，使步進器邊緣的運動最小化，消除振動源。NSR 1755I7A非常適合成本意識和要求很高的晶圓步進器應用。晶圓步進器有一個全面可靠的服務計劃作為後盾,包括對所有產品的NIKON標準保修以及全球範圍內提供的全天候支持。
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