二手 NIKON NSR 1755 i7A #9302607 待售

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ID: 9302607
優質的: 1992
i-Line stepper Reticle, 5" Reduction ratio: 1:5 Expose field: 17.5 Resolution: 0.45 NA: 0.5 Global alignment: 0.18 um 1992 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A Wafer Stepper是為半導體生產而設計的最先進的機器。該機器采用NIKON先進的曝光技術進行工程設計,一次對多個芯片進行精確的制圖。步進器采用了最新的曝光設備,即i7A一個在線對準系統,以提高位置精度,此外還有一個多軸管理單元之外的先進陣列技術。這臺機器上先進的制圖技術具有專有的對齊機,可以同時對多個芯片進行精確配準。這大大縮短了吞吐量時間,並最大程度地減少了人為錯誤。步進器具有高分辨率的「標線對齊」(RA)對齊工具,對齊精度為0.02 μ m。這樣可以確保晶片與晶片之間有極好的覆蓋.它還為高級過程控制提供嵌入式Z級補償,從而獲得最高質量的設備。NIKON NSR 1755I7A Wafer Stepper還具有獨特的模塊技術,使其能夠在步進模式和掃描模式下執行精度和晶圓模式。這臺機器上獨特的模塊技術使它能夠橋接薄至5-10nm的窄線工藝模式,這比傳統步進器能達到的速度要快得多。它還包含0-4um的寬步長範圍,步長可重復性<0.5nm。此外,步進器還包括一種光學成像設備,能夠提供出色的圖樣精度。NSR-1755I7A Wafer Stepper具有全面的通信模型,允許遠程監控。步進器與提供詳細參數設置的直觀用戶界面集成在一起。此外,設備還提供了各種各樣的流程和操作狀態數據,使操作員可以即時監控、分析和控制流程。該機器還具有實時的可操作坐標,有助於減少整個過程中的錯誤。NIKON NSR-1755I7A Wafer Stepper具有教學和培訓生產團隊新成員的全面診斷功能。此外,它的高級自動化有助於降低成本,同時確保一致的性能和最佳的輸出。總而言之,NSR 1755 I 7 A Wafer Stepper提供了卓越的性能和可靠性,可實現精確和大批量生產。憑借最新的功能和技術,NIKON NSR-1755 I 7晶圓步進器是現代半導體制造業務的理想解決方案。
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