二手 NIKON NSR 1755 i7B #293619990 待售

NIKON NSR 1755 i7B晶圓步進器是一種最先進的投影光刻機,用於制造功能尺寸小於幾納米的設備。它是一種直接驅動的六場單波長光刻工具,支持從EBR（曝光束路線）到每個加工晶片的對齊和基板平坦度的整個光刻周期。NIKON NSR-1755I7B利用先進的投影透鏡、反射物鏡（REX）和雙環均勻器，提供卓越的低掩模失真性能。該設備具有業界領先的計量套件,其中包括可編程級、XYZ晶片移動和焦點檢測,從而能夠在關鍵層上實現精確的抵抗開發和陣列。NRK 1755 i7B還支持離軸照明、對準模型生成的圖案、無縫自動對準等創新成像技術。它集成了交互式曝光命令系統、開發者優化和晶圓溫度控制，使整個過程更易於管理。步進器可靠，在厚基板上支持高質量的器件制造。該單元采用了現場可編程柵極陣列（FPGA），以確保短標線到標線的曝光周期，其電磁掃描儀頭技術允許低成本、自動控制的曝光條件設置。其高精度步進電機控制機在操作過程中產生穩定的暴露劑量。from-field缺陷管理工具包含激光模式掃描儀、缺陷監視器和中場缺陷監視器。它可以檢測可能導致屈服變化的氣隙缺陷，其圖像處理引擎在觸摸面板上顯示從缺陷監視器獲得的圖像。NSR 1755 i7B還支持ImagePLUS傳感器資產,該資產與執行缺陷審查的DefectReview軟件一起收集被檢查晶片上的不均勻數據。它還支持AutoAlign模型，該模型在執行投影曝光的同時快速獲取模式信息，從而可以快速調整晶圓配準。總之，NSR-1755I7B晶片步進器是一種可靠的、最先進的投影光刻機，能夠精確地制造出幾納米以下特征尺寸的器件。它支持各種成像技術,並配備了業界領先的計量套件、交互式曝光設備和自動對齊工具。