二手 NIKON NSR 1755 i7B #293817949 待售
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ID: 293817949
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.54
Resolution: 550 nm
DCO: 140
Throughput (WPH): 63.
NIKON NSR 1755 i7B Wafer Stepper是一臺專門為制造半導體器件的先進晶圓級光刻而設計的機器。它是該公司NSR-i (NIKON Scanning&Resolution)系列中最新的一系列高級系統。這種先進的設備具有高達每小時2000(250毫米)晶片的高吞吐量、2000 FOUPs的FOUP/TOP加載能力、2.5nm的最小特征尺寸、一個數量或專用相機以及7英寸矽晶片步進。這使得它成為生產復雜微型小型化裝置的理想選擇。NIKON NSR-1755I7B的主要組件包括高分辨率掃描儀、場選擇器、掩模對準器和晶圓傳輸室。高分辨率掃描儀使系統能夠產生極小的特征大小,並在其他競爭系統的一小部分時間內成像復雜的結構。現場選擇器具有高場強、高質量成像的靈活性,以及大面積結構快速成像的低場強。掩模對齊器可確保完美的掩模對齊,並提供廣泛的掩模級別選擇,以幫助將開發成本降至最低。晶圓傳輸室采用先進的負載端口機制和高效的安全措施設計。NSR 1755 i7B還具有先進的性能增強軟件包,可讓用戶提高準確性、速度和生產率。該軟件界面為晶圓分析、統計過程控制和快速單元設置提供了工具。它還提供了一個監測設施,提供實時圖形和統計過程控制數據。該機制造精度高,結構堅固,部件和支撐質量。該工具具有內置的安全特性和先進的制造技術,在操作上非常可靠,並提供卓越的性能、準確性和可靠性。NSR-1755I7B具有廣泛的可自定義功能,是生產先進微型小型化和復雜設備結構的理想選擇。
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