二手 NIKON NSR 1755 i7B #9160458 待售
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NIKON NSR 1755 i7B Wafer Stepper是一種高性能的浸入式光刻成像設備,主要設計用於掩模和光柵級光刻應用。這種晶片步進器裝有抗靜電焊料凹凸成像技術,使得即使是最小的焊料凹凸也能產生細細的3D成像。該系統具有82um的高分辨率攝像頭,能夠制造具有超緊設計規則的半導體芯片。此外,軸上對齊特征可確保最大的對齊精度,從而提高模具吞吐量。NIKON NSR-1755I7B Wafer Stepper用於創建稱為標線的主模式,用於將圖像傳輸到晶片。該單元具有25.4毫米的標線場區域,允許對大曝光場進行精確成像,以及對內存芯片等小型微設備進行高精度成像。這些標線通常是由石英制成的,使它們對於圖像傳輸到晶片非常有效。這臺機器配備了先進的自動對焦控制裝置,可以監視和糾正對焦平面中的任何缺陷,同時自動檢測模式的模具邊界。這使得該工具非常適合具有嚴格的設計規則和高產率的生產。NSR 1755 i7B Wafer Stepper專為在惡劣的生產條件下實現最高的效率和可靠性而設計。憑借其高速激光投影資產,它能夠每小時高達4,500晶圓,吞吐量高達1.6 GHz。該模型具有一個控制設備,該設備可優化每次噴射的曝光條件,提高晶片的吞吐量和均勻性。該控制系統還能夠優化暴露時間、劑量和焦點,提供絕對的過程控制和穩定性。NSR-1755I7B晶片步進器是晶片級成像的完美解決方案,可提供高吞吐量、卓越的均勻性和可靠的結果。它是一個功能強大、高性能的單元,具有先進的成像功能和優化的照明效果,確保了出色的模模式化和準確性和均勻性。憑借先進的自動對焦控制,確保了良好的對焦平面穩定性,使本機成為現代半導體行業高分辨率需求的理想選擇。
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