二手 NIKON NSR 1755 i7B #9165599 待售

NIKON NSR 1755 i7B晶圓步進器是一種突破性的工具，它為高精度對準和光刻提供了無與倫比的工藝，徹底改變了半導體制造業。步進器具有掃描電子束偏轉器,偏轉精度為0.6 μ m,最大掃描速率為1.5 kHz,能夠提供卓越的過程穩定性和圖像質量。7軸2柱系統還確保0.7 μ m內的對準精度,始終確保晶圓以最高精度對準。電機驅動程序In-Deflection Axis Scanning允許對單晶片級進行高度精確的直接驅動控制,以進行納米級掃描。它的高效率也使得每晶圓1.5秒的快速循環時間。NIKON NSR-1755I7B還具有0.33 μ m的行業領先分辨率,覆蓋了典型的常規晶圓步進器的近2.6倍的範圍。該分辨率可以很容易地實現，使光掩模圖樣與晶圓基板上的高密度晶體管圖樣精確對齊。儀器配備了自動4軸居中程序，相對於X-Y級的X軸和Y軸自動、精確地將每個晶片居中。此居中程序可處理最大8英寸的晶圓尺寸,沒有孔或對齊標記,並且可以編程為同時執行手動和半自動居中。NSR 1755 i7B有一個開放接口軟件，允許定制和優化諸如捕獲數據、處理晶圓圖像、對齊過程和重復精度等過程。該軟件還提供了圖形驅動的操作環境，簡化了晶圓和光掩碼過程。總體而言，NSR-1755I7B是一種革命性的晶片步進器，在晶片對準方面提供了卓越的精度。它提供一致的高分辨率成像,能夠縮短周期時間、提高產量和提高性能。