二手 NIKON NSR 1755 i7B #9250066 待售
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ID: 9250066
優質的: 1993
Stepper
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Cassette (L + R)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1993 vintage.
NIKON NSR系列1755 i7B是一種中端自動化晶圓步進器,結合了精度、性能和精細光學。此步進器的設計目的是通過高速調整、更快的曝光時間以及許多其他功能來減少周期時間並加快吞吐量。它擁有17英寸、4K分辨率的液晶顯示屏,曝光面積為455 x 455mm。內部光學系統配備了尼康CFI60技術,提供了改進的景深和近距離像差校正。寬廣的數值孔徑也有助於更高分辨率的成像。NIKON NSR系列1755 i7B的閉環步進控制系統利用高精度編碼器檢測和糾正投影鏡頭的任何失準,因此設計得非常可靠和準確。步進器還具有集成的總濃度控制系統(TCCS),可減少透鏡溫度漂移引起的過程變異性。步進器能夠精確的劑量和焦點控制,並在每次曝光時提供保證的晶圓結果。步進器支持廣泛的光刻和抵抗材料,以及可變聚焦和劑量選項,以更有效的處理。NIKON NSR系列1755 i7B非常適合需要卓越成像的組裝級生產和芯片結合應用。緊湊的設計和遠程能力使得這種步進特別適合在工廠、裝配線和研究實驗室中使用。步進器的設計考慮了用戶安全和人體工程學,先進的功能為用戶提供了可靠高效的生產周期。開放軟件平臺還允許完全集成第三方工具以提高效率。總而言之,NIKON NSR系列1755 i7B是一款可靠高效的自動化步進器,可提供卓越的成像質量和生產速度。
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