二手 NIKON NSR 1755 i7B #9268107 待售
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ID: 9268107
晶圓大小: 6"
Stepper, 6"
Flat wafer
ASAHI S78 Chamber
PLC Type: MELSEC F1-60 MR, F1-60 ER
Variable reticle microscope: 15 mm and 17.5 mm
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 5517A Laser
LSA Laser: 5 mW
ITV Camera: RA CCD XC-77
Silicon wafer
OF Sensor: NIKON
UD Motor: 5.44:1
Wafer loader type: Type 1
No in-line
Wafer carrier table: Left and right
FIA
Reticle, 5"
Reticle case: 26 mm
(13) Reticle slots
No PPD / PD
Rack type: Right
Chamber temperature:
Chamber: 23°C
LATC: 22.6°C
Power: 200 V, 3-Phase, 4 Wires, 75 Amps.
NIKON NSR 1755 i7B是一種最先進的晶圓步進器,旨在為半導體器件制造提供極其精確的光刻技術。該模型采用先進的電子束光刻(EBL)系統,可實現高達0.01 μ m的卓越特征分辨率。它配備了重型框架結構,用於精確的階段對準,並結合了最新的NIKON掃描角度控制(NSC)技術,以提高晶圓位置精度。此外,NIKON NSR-1755I7B晶片步進器能夠以高達1.0秒/模具的無與倫比的采集速度實現直接向下到基板的陣列,從而消除了長時間曝光的需要。先進的EBL系統還提供了無與倫比的分辨率、高速掃描和出色的舞臺對準精度。該模型包括高通量、大面積掃描儀和獨特的高壓光學系統,用於快速掃描和優化模式叠加。EBL控制單元與NSR 1755 i7B晶圓步進器之間的高速通信使操作員能夠精確控制多個過程步驟,如長時間曝光時保持位置,調整掃描速度和模式大小,以及其他晶圓預處理設置。NSR-1755I7B晶片步進器還具有先進的晶片夾緊能力,能夠在受到不同基板的挑戰時進行精確的調整和快速的變化。其高精度傳動系統在廣泛的工作條件下提高了配準精度和穩定性。該模型還提供了具有模式平移和比例調整的自動對準功能,並利用獨特的邊緣檢測器在顯微鏡下快速定位晶片。歸根結底,NIKON NSR 1755 i7B晶圓步進器提供了業界領先的精度和吞吐量,使其成為大型和小型設備制造的理想選擇。該型號具有快速掃描功能、種類繁多的光刻技術和可調節的舞臺設置,可靈活地用於各種先進的設備制造過程。其用戶友好的界面使其易於操作,而其優越的模式分辨率和優越的工藝性能使其成為任何晶圓步進器應用的理想選擇。
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