二手 NIKON NSR 2005 EX 12B #9316104 待售
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NIKON NSR 2005 EX 12B是晶圓步進器,一種用於在半導體晶圓上創建極小元件的機器。機器使用光刻技術,通過包含電路設計的掩模將晶片暴露於光中,以產生所需的集成電路模式。NIKON NSR 2005 EX12B采用雙軸級設備,可精確控制晶圓放置,精度為0.4微米。另一個高級級系統利用平面跟蹤來確保晶片保持在同一光學平面上。NSR 2005 EX 12 B可以配備各種步進系統,如全場、右邊、圖像縫合和可編程變焦。全場單元允許整個晶片表面完全曝光,而右邊機則對曝光邊緣提供更精細的控制。圖像縫合工具可以用來將幾個個體曝光重叠成一個大鏡頭,而可編程變焦則允許對晶圓邊緣附近的曝光進行更精確的控制。此外,NSR 2005 EX12B還配備了高級主動對齊資產。該模型不斷監測晶圓對準,允許精確控制曝光參數。該設備還采用了專門的算法來精確放置邊緣,從而減少了對齊曝光時的誤差幅度。為了保證高光刻圖像質量,NIKON NSR 2005 EX 12B采用了高分辨率像差校正系統。該單元通過先進的可拆卸透鏡機和自動校準功能來補償各種像差,包括水平平面度、B狀態、橢圓度、昏迷、其他失真、曲率和磁場曲率等。最後,為確保用戶安全,NIKON NSR 2005 EX12B采用了健康監測工具。該資產監視各種機器功能,如溫度、壓力和振動,並在檢測到異常時關閉機器。總體而言,NSR 2005 EX 12 B是一項創新且精確的技術,允許制造復雜的集成電路結構。其先進的舞臺模型和主動對準設備為精確準確的暴露提供了必要的控制,而其像差校正系統和健康監測單元則有助於確保一致的結果和安全。
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