二手 NIKON NSR 2005 G8C #293817947 待售
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ID: 293817947
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.6
Resolution: 550 nm
DCO: 120
Throughput (WPH): 66.
NIKON NSR 2005 G8C是一種先進的光刻工具,專為處理標線和半導體晶片而設計。它具有較大的視野(30毫米x 24毫米),可以對比傳統步進器更大的標線進行成像。該G8C還具有一個高數值孔徑(NA),它允許更高分辨率的高精度成像。G8C先進的成像功能使其非常適合制造最具挑戰性的幾何形狀和復雜的3D結構。該G8C包括一個超精確的雙軸掃描設備,用於高精度對準標線和晶片。這樣就可以在不影響圖像質量的情況下準確對齊每一個圖層。該G8C還設有一個多濾鏡系統,它允許選擇在成像過程中使用的不同波長的光。這樣可以確保晶片上不透明和透明材料之間的最佳對比。NSR 2005 G8C提供卓越的對比性能。它采用先進的光學設計,並與數字聚焦專家單元和氣隙照明等專有技術形成鮮明對比。氣隙成像的精確度提高,加上超高數值孔徑,不需要手動對標線和晶片進行後處理。NIKON NSR 2005 G8C配備了一系列真空泵,能夠在高真空環境下運行,以最小的維護提供卓越的耐用性和可靠性。該G8C還包括一個自動級,用於在開始成像之前處理和定位標線和晶片。這有助於確保多層流程的準確性,而不會影響吞吐量。該階段還能夠對多達200種不同的材料和層厚度進行先進的基板和對準檢測。總體而言,NSR 2005 G8C是一臺全面的光刻機和晶圓步進器,具有先進的一系列功能,可高效地以極高的精度制造高精度和錯綜復雜的結構。它非常適合在高分辨率、大幅面尺度上制造先進的半導體器件和其他復雜結構。
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