二手 NIKON NSR 2005 i10C #293587661 待售

NIKON NSR 2005 i10C是一種革命性的晶圓步進器,它徹底改變了芯片生產。此步驟和重復設備功能基於KLA-Tencor計量設備。它采用了專利的錐形浸入式照明器（TII），這是市場上最精確的光束形狀、尺寸和位置控制設置之一。步進器的接觸模式掃描能力和4維樣本數據輸出提供了很高的準確度。NIKON NSR 2005I10C有兩層垂直堆叠的透鏡，TII的指數光束和下降光束通過透鏡指向晶圓和標線。透鏡包含一個旋轉的球形表面，使光線能夠正確彎曲，從而在晶圓上產生圖像。透鏡還能夠調整光束的傾斜度，從而可以對晶圓上的圖樣進行精確掃描和成像。步進器還具有高精度的衰減和放大，一次聚焦精度為0.1微米，二次聚焦精度為0.05微米。NSR-2005I10C有一個高效的投影鏡頭系統，這意味著它可以在僅2.5秒的曝光時間內運行10個階段。這意味著晶片可以比傳統步進器更快地暴露於掃描模式中。它還具有較高的航空圖像範圍，這意味著可以在多個細節層次上準確地產生各種圖案。另外，步進器可以處理範圍廣泛的標線尺寸，使其適合在各種不同的應用中使用。NIKON NSR-2005I10C非常可靠，這要歸功於可靠的計量裝置及其對激光功率和曝光設置的電子控制。它還具有自動光束形狀、尺寸和位置控制,確保使用此步進器時結果一致。步進器的特點是維護要求低，只有偶爾的清潔和周期性的加熱過程，以確保最佳性能。此外,TII機的能效極高,能耗較低。總之，NSR 2005I10C是一種革命性的晶片步進器，能夠在晶片上高速準確地產生復雜的模式。它可靠、低維護、高效，使得芯片生產具有成本效益。