二手 NIKON NSR 2005 i10C #293606710 待售

ID: 293606710
Stepper Resolution: 0.45 Reduction: 1/5 NA: 0.57 Exposure wave length: i-Line Expose field: 22 x 22 - 17.9 x 25.2.
NIKON NSR 2005 i10C是一種高精度、高性能的晶圓步進設備。由NIKON開發,其特點是曝光時間超短,吞吐量高。該系統專為最大限度地提高需要超快掃描的大型內存和高速設備的吞吐量而設計。它包括一個深紫外線準分子激光源,高精度光學,和一個集成的直接成像單元。NIKON NSR 2005I10C利用其高速成像能力和超短曝光時間進行多種晶圓隧道技術。其出色的過度掃描精度是精確光刻工藝的理想選擇。該機具有可變成像角度,能夠更精確地控制蝕刻圖案。NSR-2005I10C的光學特性為0.75的超高NA,提供超高精度和減少線性失真。高動態調制可確保精確的叠加精度,減少缺陷,並提高16 nm或更高的分辨率。簡化的高級光學設計也減少了像差,提供了精確的晶圓處理。NIKON NSR-2005 I 10 C配備了各種增強性能的功能。該工具具有內置的自我監控功能,使操作員能夠輕松地排除資產故障。此外,它的自動對焦功能大大提高了對焦位置的準確性和可重復性。此外,NSR 2005 I 10 C具有多級掃描模型,可通過多種模式區域快速掃描晶圓。該設備旨在提高光學設備的利用率,從而提高生產效率和吞吐量。簡而言之,NIKON NSR-2005I10C是一種先進的高質量晶圓步進系統,設計用於精確、可靠、高效的晶圓處理。憑借其高速成像能力、超短曝光時間和多級掃描單元,這臺機器非常適合大內存和高速設備應用。NIKON先進光學技術確保精確掃描和提高分辨率。它具有多種功能,可提供高吞吐量和優異的性能。
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