二手 NIKON NSR 2005 i10C #9085273 待售

NIKON NSR 2005 i10C晶圓步進器是一種用於半導體和光掩模制造的高精度曝光工具。它將出色的性能和分辨率與準確性和可靠性方面毫不妥協的標準結合在一起。這確保了當今使用的各種晶圓尺寸和應用程序的最高圖像質量。NIKON NSR 2005I10C采用特殊的高耐力塑料塗層玻璃布局,具有轉臺級功能,旨在實現最小的階段位置不穩定性。該轉臺采用集成電機驅動器和自動對準電機跨度,使晶圓上的精度高達+/-5 µm。晶圓可以在400mm × 400mm的範圍內移動，重復率為0.3µm。晶片用1kW鹵素燈、鹵素光源和計算機控制的脈沖寬度調制驅動器照明。這樣就可以使用精確可控的曝光參數來獲得所需的結果。此外,先進的冷卻系統可確保均勻的溫度和最佳的曝光均勻性,以及更高的吞吐量。NSR-2005I10C配備了SynchroScan成像設備,由高級線性光電二極管和兩個CCD組成。這種成像系統允許廣泛的特性和功能，如自動臨界尺寸測量、舞臺對準、TTL對準、圖案峰值和多場印跡。所有這些都可以用高分辨率和高精度來完成，即使在檢查低至0.4 µm或更小的結構時也是如此。NIKON NSR-2005 I 10 C晶圓步進器還提供了若幹自動化和監控功能。這有助於減少體力勞動和防止錯誤。此外,步進器還設計有雙端口輸出箱和使用串行I/F或以太網的遠程控制功能。這在遠程操作、數據收集和步進器各種功能的控制方面提供了額外的靈活性。總體而言,NSR 2005 i10C提供了無與倫比的精確度、靈活性和性能。為了獲得最大的圖像質量,晶圓步進器提供了廣泛的曝光參數以及自動化和監控功能,可幫助簡化整個半導體制造過程。因此，NSR 2005 I 10 C晶圓步進器是制造半導體和光掩模所不可或缺的工具。