二手 NIKON NSR 2005 i10C #9096007 待售

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ID: 9096007
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
I-Line stepper, 8" Reticle microscope : Fixed HP LASER : 5517B LSA LASER : 5mW ITV Camera : Nikon original type OF Detection type : Nikon original type Wafer loader type : A1 Wafer carrier table : Left Reticle size : 6inch FIA PD Extension LIB Rack type : Left 1994 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C是為精密光刻應用而設計的最先進的晶圓步進器。這種步進器利用先進的光學、尖端的軟件和先進的對準技術,為半導體行業產生高性能的結果。NIKON NSR i10C配備了NIKON Advanced Lens Equipment (ALS)。該系統采用了高性能鏡頭,並提高了分辨率和圖像質量。ALS還提供了改進的光傳輸、更好的均勻性和對比度以及更快的響應時間。此外,ALS還具有低像差、優化的磁場曲率、低振動和自動對準等特點。NIKON NSR i10C具有一個高端晶圓對準單元,可以精確測量晶圓偏斜並提供對像差的精確校正。這臺機器確保了出色的圖樣放置,並最大限度地減少了偏心定位。NIKON光學變焦對準器為操作員提供精確的拍攝到拍攝叠加,進一步提升了NIKON NSR i10C的性能。NIKON NSR i10C還提供高級圖像軟件,包括e-Stepper模塊,該模塊提供掩碼、基板和CR工具數據的完全集成。E-Stepper模塊是為實現最佳精度、速度和吞吐量而設計的,它為處理模式數據提供了強大的圖形界面。此外,NIKON NSR i10C還配備了高級流程監控功能。「增強流程窗口」可實時監控對齊和曝光流程性能,從而使用戶能夠快速響應流程變更。此功能還允許在開發和生產過程控制過程中優化控制參數。NIKON NSR i10C提供了能夠充分優化光掩模過程並確保最高模式放置精度和圖像質量的功能。NIKON NSR i10C從其具有高級對齊器的高精度光學資產到其強大的圖像軟件和過程監控功能,是用於精確光刻應用的強大而可靠的解決方案。
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