二手 NIKON NSR 2005 i10C #9205851 待售

ID: 9205851
Stepper Resolution: 0.45 NA: 0.57 Exposure wave length: i-Line Reduction: 1/5 Expose field: 22 x 22 - 17.9 x 25.2 Alignment accuracy: 0.09 (|x|+3s).
NIKON NSR 2005 i10C是為滿足半導體生產需求而設計的下一代高性能步進掃描設備。該步進系統提供了先進的圖像處理算法和高可用性。NIKON NSR 2005I10C是一款領先的晶片步進器,利用公司專有的現代深層紫外線光源實現1.0 nm成像分辨率,具有優異的處理重復性。該單元的步進和掃描運動能力為客戶提供了一個更有效的解決方案,以滿足所有光刻需求。NSR-2005I10C提供卓越的性能和可靠性,以及高度的自動化。其特點包括1.0 nm制造的高分辨率圖像模式和敏感操作的10nJ/cm2低劑量模式。NSR 2005I10C還具有獨特的圖像處理算法和EasyRide智能控制器,可根據模式數據和過程條件監控和調整操作。該機器配備了許多自動化功能,可以減少手動幹預的需求,同時幫助提高生產率和吞吐量。NSR 2005 I 10 C可同時加載多達100個晶圓,從而實現高效率的吞吐量。自動化檢查工具還為用戶提供高速晶圓和特征分析,使他們能夠快速發現和解決問題。此外,該工具還具有強大的現場可編程門陣列(FPGA),具有圖像傳感器,每秒可讀取和存儲多達800次曝光。該資產還提供了先進的步進掃描子系統,並針對高精度對齊進行了優化。NIKON NSR-2005 I 10 C是一種可靠而強大的解決方案,可滿足一系列光刻需求。憑借其高分辨率的成像和固態自動化,客戶可以確保輸出的一致性和可靠性。該模型具有較高的吞吐量和先進的圖像處理算法,易於管理各種設備的生產。
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