二手 NIKON NSR 2005 i10C #9227509 待售

NIKON NSR 2005 i10C是為半導體制造設計的光刻步進器。它能夠在各種各樣的材料中產生高度細化的圖樣，包括矽、砷化氙、金屬合金以及其他半導體和介電材料。該i10C采用步進技術，使復雜的設計能夠在基板上進行可重復和精確的設計。在步進技術中，圖樣使用紫外線束或電子或離子束蝕刻到晶圓或基板上。在光刻中，光束或電子束通過掩模被引導和聚焦到基板或晶圓上。然後將穿過掩模的光或電子施加到晶圓上，並創建圖像。i10C配備了高NA鏡頭，分辨率為0.091µm，可實現高度精確的圖案。該系統還配備了先進的無掃描對準頭，以提供非常高精度的三維圖案對準。它還具有子分辨率輔助功能（SRAF）功能,可幫助提高子分辨率組件的準確性和吞吐量。NIKON NSR 2005I10C設計具有多種安全特性，包括防汙罩、燈簾和非接觸式液體供應系統。此外，該系統還有多個內置傳感器和探測器，用於監測步進器及其組件的運行狀況。該i10C設計用於每小時處理多達200個晶圓,並針對最小的停機時間和最大的利用率進行了優化。它的高級功能允許靈活和一致的處理。步進器非常可靠,能夠產生邊緣位置低至10nm的陣列。綜上所述，NSR-2005I10C晶圓步進器是一種高度先進的半導體和介電材料光刻機。它配備了高NA鏡頭和0.091µm的分辨率，以及一套安全特性和高級特性。這臺機器能夠以高達每小時200晶圓的速度產生極其精確的模式，其先進的功能提供了靈活可靠的處理。