二手 NIKON NSR 2005 i10C #9232572 待售
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ID: 9232572
晶圓大小: 4"
優質的: 1995
Stepper, 4"
MCS2 Basic
Option: SMP
Reticle loader
Stage
Operation panel
Wafer loader
Lens controller
Wafer sensor
System: NEST
Hard disk
Storage drive
Illumination type: Normal
Wafer stage:
Chuck type: Flat, 4"
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope: Movable
Wafer alignment: FIA, LSA
Auto focus: Multi
Wafer loader:
Loader type
OF Type: Flat
Flat zone: Flat
In-line: Right
Cassette: Left, Right
Control rack position: Right
Reticle loader: Reticle size, 5"
(13) Slots
No PPD
No barcode system
Chamber type ASAHI
1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C是由最先進的光學、傳感器和精密掃描技術組成的晶圓步進器。主要用於半導體工業，用於精確制造集成電路等電子零件。NIKON NSR 2005I10C可容納200毫米（7.87英寸）的最大晶圓尺寸，由多功能級、照明光學設備和尖端的前饋和區域掃描算法（FWA）組成。步進器的曝光場尺寸為30mm x 30mm,對準精度為0.75微米/器件。它具有超短波長（UV/DUV）照明比任何可比的工具，和可調節的照明控制和模式變形能力。NSR-2005I10C光學系統由優化光學系統和高精度多功能級組成。光學器件包括一個最先進的雙遠心組合照明和成像單元，其中物體鏡頭和成像鏡頭都是遠心的。這樣可以提高分辨率和對比度,並提供更廣泛的照明視野。NIKON NSR 2005 I 10 C的多功能級提供了卓越的平整度、表面精度和平滑度,以實現精細精確的對齊。它還利用具有優越扭矩特性的電動機提供優越的精度和掃描速度。區域掃描算法（FWA）確保了高動態範圍成像的精確和穩定對準.NIKON NSR-2005 I 10 C配備高性能成像機,可提供卓越的分辨率、對比度和吞吐量。它利用各種傳感器和圖像處理算法來確保高速和高精度的圖像捕獲。該工具能夠處理子像素圖案,確保高度精確的圖案放置。NSR 2005 I 10 C旨在為具有挑戰性和多樣化的生產要求提供卓越的性能。其功能豐富的資產設計使其高度可靠,並提高了流程靈活性和可擴展性。步進器是先進集成電路生產的理想選擇,具有較高的成本效益.
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