二手 NIKON NSR 2005 i10C #9236760 待售

NIKON NSR 2005 i10C晶圓步進器是一種用於制造先進半導體產品的高端儀器。它是一種全自動的步進重復光學顯微光刻設備，能夠成像大尺寸晶片。該系統能夠生產尺寸介於6到12英寸之間的晶圓級光學器件。NIKON NSR 2005I10C是NIKON NSR系列高端光刻系統的一部分。NSR-2005I10C提供卓越的性能和成本效益。該單元利用交替雙場光學成像技術在兩個視場上產生高曝光均勻性，最大限度地減少一次在晶圓大面積上的打睡曝光變化。雙場光學技術允許25毫米大小的大曝光場，使這臺機器能夠在一次拍攝中成像大的基板區域。NIKON NSR-2005I10C有一個獨特的曝光單元，是同類中最好的之一。曝光單元由可重新配置的冷凝器透鏡、光快門和帶有電極和擋板的晶片卡盤組成。該工具利用三個電動級來執行圖像到基板的重新張緊、長寬比和重定向。此曝光單元可提供高曝光均勻性、低工藝變化和低停機時間。NSR-2005 I 10 C還采用了多頭/多束成像資產，能夠在一個曝光過程中產生多個曝光場。該模型能夠產生非常小的特征尺寸，準確的覆蓋位置，以及在廣泛的抵抗暴露條件下卓越的成像質量。該設備在X軸、Y軸和Z軸上的總精度為1.5微米，能夠分辨率降至0.2微米。該系統具有幹式清潔功能,不需要濕式處理。NSR 2005 I 10 C設計為用戶友好高效,提供自動基板對準、自動曝光優化、實時照相標線檢查以及對多個ID和孔徑設置的曲線擬合分析。該單元還提供了具有多語言支持的圖形用戶界面（GUI）。GUI允許用戶輕松訪問機器的專業映像功能。NSR 2005 i10C是一臺可靠、功能強大的晶圓步進機,旨在滿足要求最苛刻的光學顯微光刻應用。它提供了卓越的性能和成本效率,並且可以在各種抗暴露條件下產生出色的成像效果。該工具具有實時照相標線檢查、幹洗功能和用戶友好的GUI功能,便於訪問機器的成像功能。