二手 NIKON NSR 2005 i10C #9261832 待售

NIKON NSR 2005 i10C
ID: 9261832
晶圓大小: 4"-6"
Stepper, 4"-6".
NIKON NSR 2005 i10C Wafer Stepper是用於制造半導體器件的生產級光刻設備。這種光刻系統是被稱為掃描儀的大型工具的一部分,通過放大和以極高的放大倍率拍攝芯片的各個層來實現高精度。NIKON NSR 2005I10C Wafer Stepper是著名的NIKON NSR 2005 i9C系列的光骨版,適用於預算敏感的量產工廠。這是一個空間和經濟高效的單位,使它成為一個理想的選擇狹窄的空間操作。此外,步進器的特點是有許多進步,以確保更好的操作,如脈寬調制焦點補償,並發光學對準,以及改進標記場重建。NSR-2005I10C Wafer Stepper是一臺能夠涵蓋制造集成電路所需的所有主要步驟的機器,包括光掩模曝光、對準和覆蓋、波形控制和數據采集。該工具裝有12 ″ x 12 ″級,使資產能夠處理6個″和8個″晶圓尺寸,框架尺寸為5,796毫米x 4.455mm。此外,機器還可以處理A型、B型和C型抗蝕性塗層,其最小射速為95nm/s。為了提高操作員的安全性,該模型符合振動分類設備等級2,從而確保系統能夠在噪音保護的環境中運行。該機還具有方便的顯示模式、正常和彈出模式,並具有靈活的傳輸接口,便於使用各種類型的晶圓適配器的載波。在光學方面,NIKON NSR-2005 I 10 C晶圓步進器裝有能在紫外線和紅外範圍內工作的大孔徑照明單元。這允許高能曝光,即使在長焦距。此外,該機還配備了高速重叠圖像采集設施,可實現快速準確的對準和叠加精度。此外,精確的精細聚焦調整可以快速執行。NIKON NSR-2005I10C Wafer Stepper是制造各種類型半導體器件的高效可靠的工具。其先進的光刻技術和緊湊的設計使得它成為許多不同類型的生產級應用的一個有吸引力的選擇。此外,資產確保了所有流程的精確準確性,並符合最新的安全條例。
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