二手 NIKON NSR 2005 i10C #9283319 待售
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已售出
ID: 9283319
晶圓大小: 6"
優質的: 2010
Stepper, 6"
Main body
Controller rack
AC Unit
NA Variable system
Maximum NA: 0.57
Reticle size, 6"
(20) Reticle microscopes
Wafer chuck, 6"
Wafer chuck type: Ring
(6) Pre-alignment 2: Flat
(6) Pre-alignment 2 hammers
Wafer loader: Type 1
Chip leveling
Wafer carrier table: Left / Right
Alignment sensor: LSA
No in-line
No on-line
No in-line interface
No wafer alignment assist microscope
No wafer edge exposure
No signal tower
No power meter / Test reticles
No reticle cases
No remote controller
2010 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C是一種高性能晶圓步進器,旨在以最低的成本提供盡可能高的性能。這種通用設備能夠為要求最苛刻的工藝提供最精確的晶圓制造解決方案。它提供了一種全自動操作,可確保各種流程的結果一致。NIKON NSR 2005I10C具有兩級光學系統,具有高度的靈活性和準確性。該系統由可變放大倍率的高分辨率晶片圖樣透鏡供電。設備上的全自動對齊器允許不間斷對齊，使其適合可重復、高精度的陣列。步進器還配備了一個高分辨率激光源，使其能夠創建高達10微米分辨率的圖樣。此外，它還能夠自動優化暴露時間和劑量範圍，以達到可重復的結果。NSR-2005I10C的高速步進驅動器能夠快速、精確地處理晶片，而其龐大的掃描領域使其能夠容納多個晶片組件。內置LCD接口提供了簡單直觀的操作，允許用戶監控設備狀態並進行任何必要的調整。此外,該設備還具有集成真空卡盤,可確保晶片在處理步驟中牢固地固定。NSR 2005I10C非常可靠,能夠提供最高質量的結果而不會失敗。它能夠為清潔環境提供不變的大氣層和低汙染水平。另外，鏡片的低數值光圈使其能夠在降低失真和像差的情況下獲得更好的分辨率。這種特性的組合確保NSR-2005 I 10 C是一種功能強大的晶圓步進器，適用於各種晶圓處理應用。
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