二手 NIKON NSR 2005 i10C #9311681 待售

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NIKON NSR 2005 i10C
已售出
ID: 9311681
晶圓大小: 6"
優質的: 1994
Stepper, 6" NEMA Box electric source ASAHI N1A Chamber Chamber width: 1800 mm Temperature: Chamber / LTC / IATC: 23°C Computer type: PDP11/93 HP 5517B Laser LSA Laser: 10 mW Fixed reticle microscope NIKON ITV Camera Wafer type: 6" Flat type Silicon wafer OF Detection: NIKON Original Type Wafer loader: NIKON Type2 (A1) Reticle library slots: (13) Main slots Wafer carrier table: Left and right Reticle, 6" LSA / FIA Sensor Bar code reader Rack type: Normal right position Set atmospheric pressure: Normal Altitude: Ground level Constant Backup data No Edge exposure No PPD No inline 1994 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C是提供高精度光刻解決方案的最先進的晶圓步進器。憑借其先進的曝光技術,NIKON NSR 2005I10C可用於產生高分辨率的圖案和形狀。它是制造集成電路、微機械元件和微機械的高度先進的曝光設備。NSR-2005I10C提供7.2毫米x 7.2毫米的視場和0.18 µm的理論最小矢量。其步進電動機提供了高速度、高效的投影光學對準。該系統還配備了一個曝光控制單元,該單元允許可編程的總體曝光時間和劑量率,以便對任何設備進行優化處理。NIKON NSR-2005I10C提供了用於生成復雜形狀的高級曝光模式,如多光纖、月球、網格和可變PR掩碼模式。這些同時將晶片以多種模式暴露出來,並允許在半導體器件上制造高長寬比結構。此外,NIKON NSR-2005 I 10 C還配備了多用途標線更換器,使用戶能夠從許多不同的標線中進行選擇,從而提高靈活性並改進成像選項。為了提供最大的圖像質量,NSR 2005I10C配備了高效的光學單元,允許極小的光信號像差。另外,晶片步進器配有兩個物鏡,可用於產生不同的分辨率水平。NSR-2005 I 10 C具有內置的安全功能,可檢測任何異常高的溫度或濕度,並自動關閉機器。此外,該工具還設有一個集成的粒子計數器,它允許用戶檢測成像資產中存在的任何粒子。NSR 2005 i10C是高分辨率、低成本光刻解決方案的理想選擇。其先進的曝光技術和高效的光學模型使其成為制造集成電路、微機械元件和微型機器的絕佳選擇。
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