二手 NIKON NSR 2005 i10C #9378020 待售

NIKON NSR 2005 i10C
ID: 9378020
Stepper.
NIKON NSR 2005 i10C是晶圓步進器,是一種計算機控制機器,用於在晶圓表面產生集成電路(IC)光掩模圖樣。這種步進器使用高分辨率的影像投影來精確地將掩模圖案轉移到晶圓上。NIKON NSR 2005I10C設備設計用於使用激光掃描投影系統將單層掩模傳輸到晶片上。它能夠將高精度和高速的光掩模圖樣傳送到晶圓上。掃描儀使用通過旋轉孔徑聚焦到晶圓上的激光。掃描儀具有快速掃描和重復對準功能。投影單元設計為提供高水平的對準精度,並保持「納米級」的配準誤差。NSR-2005I10C由多個組件組成,這些組件協同工作以提供高精度和高性能。這個晶圓步進器包括一個圖樣發生器、一個光掩模、一個標線級、一個四軸反射模塊、一個圖像傳感器和一個物體透鏡。模式發生器負責產生投影到晶圓上的模式。Photomask是一個平版印刷模板,其中包含將打印到晶圓上的圖樣。標線級是一個自動平臺,它持有光掩模,並將光掩模移動到正確的位置,供激光掃描。四軸反射模塊是一種控制裝置,旨在測量和調整晶圓的四個自由度(X、Y、Θ x、Θ y)。圖像傳感器附著在物體鏡頭上,用來捕捉投射到晶圓上的圖像。物體透鏡負責將激光投影機聚焦到晶圓上。NIKON NSR-2005I10C工具旨在向晶片提供高精度和高速的照片掩碼。它能夠傳輸具有非常低的註冊錯誤級別的高分辨率模式。它還能夠提供快速掃描和步進重復對齊功能。此外,此晶片步進器還包括許多功能,例如集成的自動曝光調整資產、高水平的對齊精度和陣列生成工具箱。總體而言,NIKON NSR-2005 I 10 C晶圓步進器是一種計算機控制的機器,用於在晶圓表面產生集成電路光掩模圖案。它旨在在晶片上提供高精度和高速的照片掩碼,並包括許多提供高精度和高性能的功能。
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