二手 NIKON NSR 2005 i10C #9389865 待售

NIKON NSR 2005 i10C Wafer Stepper是一種通用、高性能的半導體器件制造工具。它設計用於經濟高效地執行高達0.25 μ米的高分辨率光刻工藝。該設備具有先進的設備特點，如高精度樣品運動；抗環境振動的高穩定性；和自動對焦，這有助於樣品對齊。晶圓步進器結合了高分辨率的光學投影和包括光學接近校正（OPC）在內的廣泛的工藝範圍。這使得它非常適合細線VLSI生產和納米級器件制造的苛刻要求。晶圓步進器配置有兩個激光幹涉儀，兩級，一個雙層光刻頭和一個加熱的負載鎖。雙層光刻頭能夠高分辨率0.15 μ m曝光，並且能夠在一次曝光中容納幾個曝光場。加熱的負載鎖消除了對長期機械穩定性的需求，使得能夠在短曝光時間內產生高質量的模式。晶圓步進器配備了多項功能，以幫助確保更大的穩定性，如氣動舞臺、音像噪聲水平監測、溫度和壓力控制以及減振系統。氣動級準確定位樣品，達到最大精度和穩定性。音像系統監控機器的噪音水平，當檢測到異常聲音時，單位會立即向操作員發出警報。此外,該機器還提供出色的曝光和覆蓋功能。曝光功能提供高分辨率和對比度的卓越圖像質量,而叠加功能則提供精確的圖案對齊,通過最小公差組件實現高處理精度。晶圓步進器是在短曝光時間內生產高精度圖案的絕佳選擇。它提供卓越的分辨率和準確性,並且在吞吐量和產量方面都具有很高的生產率。該工具安全多用途,可根據各種流程和應用程序進行定制。