二手 NIKON NSR 2005 i10C #9408135 待售
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單擊可縮放
ID: 9408135
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Stepper, 8"
Control rack
KOMATSU BCE-5051-A Chiller
Electric source: NEMA Box for CVCF
(2) NEMA Switches
Computer type: NEST3
EPROM Chamber:
Type: SENDAI S04
Body size: 1950 mm
Set temperature:
Chamber: 25°C
IATC: 25°C
LLTC: 25°C
ROM Version:
Reticle:
Loader: RL-04V7.00
Stage: RA-81V1.70
Wafer:
Stage: ST-63V3.50, XY-63V2.90
Loader: WF-80V3.70
Sensor: WA-6DV2.50
Operational panel: PA-61V2.51
Lens controller: LC-6NV2.20
HEWLETT PACKARD 5517B Laser:
Lamp power: 1.75 kW
LSA Laser: 5 mW
Fixed reticle microscope: 20 mm
Wafer type: SILICON, 8"
Wafer stage: Ball screw
Chuck type: Ring
OF Detection type: Notch, 8"
Wafer loader: Type1
Notch wafer type: 90°
Right wafer carrier table
Reticle, 6"
FIA
Reticle library type: NIKON
13-Slots
Rack type: Right
SHRINC
Does not include:
In-line
LIA
PPD / PD
1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C是一種用於半導體制造的高端、超精確晶圓步進器。它是一種先進、適應性強的機器，能夠以極高的精度和可重復性生產芯片和其他組件。NIKON NSR 2005I10C有一個自動化的、經過改裝的遠心光學設備，帶有200毫米晶圓平臺。光學系統提供出色的光覆蓋和清晰度，並且可以調整以適應各種晶圓尺寸。光學器件也經過彩色校正，能夠產生納米分辨率的圖像。該i10C還擁有高速10百萬像素（MP）相機和高分辨率鏡頭，可快速準確地捕捉圖像。該相機經過特殊設計，能夠捕捉從高頻照明到紫外線的各種頻率，以便在拍攝圖像時獲得最大的對比度和清晰度。步進器能夠以每小時5000次曝光的速度產生高質量的圖像,每像素高達10mm的高分辨率。圖像以9.6 GB/秒的速率捕獲,並存儲在2 TB固態驅動器中。i10C的高速和大存儲容量確保不會丟失任何數據。NSR-2005I10C還有一個強大的對齊單元。它采用5軸校正技術，可以對物理和電子元件以及光學器件進行調整，以確保對準和準確性。對齊機允許對芯片元件進行極其精確的加工和微加工。該i10C設計方便維護,能夠進行自我診斷和預防性維護。該工具可以連接到診斷服務器以進行遠程監視。該機器還具有直觀、用戶友好的操作資產，甚至允許新手操作員高效使用它，並從步進器中獲得最佳效果。NSR 2005 i10C是一種功能強大、精確且可靠的晶圓步進器,可以快速、準確地生成超高質量的圖像。憑借先進的光學、高分辨率相機和強大的對準模型,它非常適合制造復雜、超精確的組件。
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