二手 NIKON NSR 2005 i11C #293758568 待售

NIKON NSR 2005 i11C是一種掃描步進器，用於制作光掩模，用於在晶圓上以高度精確度打印極小的圖案。用於DRAM、微處理器、液晶顯示器、數字信號處理器等先進技術。NIKON NSR 2005 I 11 C具有OA-光軸,它利用先進的OA-Control設備來確保精確和可重復的晶圓陣列。OA-PoticalAxis利用平行線性和俯仰/偏航級的組合並行工作,為系統提供無與倫比的精度。OA-Optical Axis還附有多種選項，例如可用於查看晶圓圖樣的高放大倍率相機，以確保其準確、精確。NSR 2005 i11C使用0.5 μ m鏡頭將高對比度圖像投射到可以精確圖案化的晶片上。它由內部開發的激光源提供動力,其曝光能量範圍為85 mJ/cm2,還可以通過重新噴漆以及低反射率層進行曝光,而不會損壞光掩模。此外,先進的激光源使NSR 2005 I 11 C的每周曝光速度比許多其他類似系統NIKON NSR 2005更快,i11C具有OA-Optics的雙穩定裝置（DSS）,它提供了比傳統OA-Optics設計更好的對準精度和穩定性。DSS利用兩個獨立的靜態光學系統協同工作以精確穩定光路。它還具有一個內置的監視機器,該機器允許監視對齊條件,以確保在從一個周期到另一個周期打印模式時可重復性。NIKON NSR 2005 I 11 C能夠使用其超級分辨率工具打印分辨率為0.5 μ m和0.1 μ m的晶片。資產還具有SPU （Soft Patterning Unit）,它可以通過控制施加到曝光的每個像素上的曝光能量量來進一步提高圖像質量。此外,該模型還裝有一個低功耗有源樣品對齊器,可提高晶圓曝光精度,並能夠在同一曝光周期內精確曝光多層光掩模。總體而言,NSR 2005 i11C是一種功能強大且技術先進的掃描步進器,當在晶圓上打印圖樣時,可提供卓越的精度和精確度。基於OA-Optics的設備提供了無與倫比的準確性和穩定性,而內置的監控系統可確保打印圖樣時的可重復性。此外,該設備的超級分辨率機器和SPU提供了更精確的陣列,而低功耗有源樣品對齊器為多層曝光周期提供了更高的精度。