二手 NIKON NSR 2005 i11C #9309536 待售

NIKON NSR 2005 i11C是一種晶圓步進器設備，設計用於廣泛的應用，如後端半導體加工、細間距模具附件和薄膜開發。它旨在滿足中大規模生產的嚴格要求，並融合了精密制圖、穩定對齊、精確叠加等先進技術。NIKON NSR 2005 I 11 C的高分辨率成像系統采用了先進的NIKON專利同質化反光5英寸（127毫米）狹縫成像鏡頭和高靈敏度數字CCD傳感器，提供了高成像精度和動態範圍。該單元還包括下遊光學器件和結構，以提供對成像平面的精確控制。NSR 2005 i11C配備了一臺自動化的舞臺定位機，利用雙軸對準測量和幹涉測量光學器件具有四級測試結構，用於精確對準和覆蓋。該階段還包括一個高分辨率的編碼器，為精確的運動提供精確的旋轉控制，它同時支持連續和局部掃描模式。在掩模到晶片的註冊方面，NSR 2005 I 11 C結合了全球和本地的註冊方法，加上一流的對齊和叠加測量。該工具還能夠識別基板表面的瑕疵，如翹曲和非均勻性，並提供一流的補償和修正。NIKON NSR 2005 i11C采用了多層TMCS（Total Maskless Control Asset）算法，能夠對高度復雜、多層次的結構進行精確模式化。此型號提供高速模式生成,其區域覆蓋速度比傳統的步進重復系統快10倍。該設備還配備了先進的晶圓監測和工藝控制功能，以確保可重復、可重復的結果。啟用RFID的數據記錄和可追蹤性系統允許在生產站點之間進行安全的數據傳輸,以及在平板電腦中進行過程跟蹤。NIKON NIKON NSR 2005 I 11 C是一款功能強大、用途廣泛的晶圓步進裝置,可提供高度精確的陣列和出色的覆蓋控制,適用於各種生產應用。NSR 2005憑借其先進的光學、多層算法、自動化的舞臺定位機和強大的過程控制，是一個可靠的大批量生產平臺i11C。