二手 NIKON NSR 2005 i11D #293813221 待售

NIKON NSR 2005 i11D是一種最先進的晶圓步進器,旨在快速準確地生產用於半導體生產的光掩模。先進的晶圓步進器具有非常大的舞臺，行進距離為800 x 900 mm。它配備了兩個獨立控制的級，用於雙面對準和提高精度。通過多種計量和對齊選項,NIKON NSR-2005I11D可以精確、精確地復制即使是最復雜的蒙版設計中的圖案。NSR 2005 I 11 D先進的激光和光學系統非常適合高精度應用。臺階和重復光刻設備采用了最先進的超穩定光學平臺，而各種各樣的照明模式選項使其非常適應不同的晶圓尺寸。基於激光的機構經過了設計和優化，可提供高達0.3微米的分辨率，具有高度精確的放置精度。此外,NIKON NSR 2005 I 11 D具有創新的AutoAligner,非常適合在多層生產過程中保持最高的準確性和對齊度。系統還支持非常大的視野，最大視野為28mm x 28mm，最小視野為3mm x 3mm。圖像傳感器靈敏度高，是低k1應用的理想選擇。NSR-2005I11D先進的控制單元進一步優化了光刻性能。它總共有四個單獨的劑量控制器，可以用來分別調整每種模式的暴露劑量。此外，該機還支持廣泛的曝光濾波器選擇和劑量工具的自動調整，以便於優化光刻需求。其先進的設計使其成為高效光刻的完美資產。NSR 2005 i11D是一系列需要高精度、高產光掩碼解決方案的行業的理想解決方案。憑借其先進的設計、可靠的操作和易於調節的曝光設置，它是一系列復雜、低k1光掩模應用的完美選擇。