二手 NIKON NSR 2005 i12D #293813222 待售

NIKON NSR 2005 i12D Wafer Stepper是一種最先進的、高度精確的晶圓步進器,旨在在半導體晶圓和精密元件上產生復雜的陣列。這臺機器提供0.1納米的分辨率，提供出色的圖樣精度和可重復性，並確保高吞吐量，非常適合所有4"、5"、6"、8"和12"晶圓。NSR 2005 i12D Wafer Stepper采用高度可靠的「冷掃描」技術進行設計,通過消除強大的晶圓掃描電動機引起的熱漂移,實現一致和精確的模式。這樣可以實現小於10納米的超精細級運動,並具有獲得專利的「亞納米」級精密註冊系統,可實現高精度甚至圖樣化。此外,該機器還采用快速啟動模式來縮短模式和激活時間,並采用內置清潔模式來防止晶圓和光學器件上的灰塵顆粒堆積,從而實現高度可靠和一致的晶圓模式。NIKON NSR 2005 i12D Wafer Stepper利用先進的高速Galvo掃描光學器件提供最大分辨率和穩定且可重復的圖像精度。專用光學器件的放大倍率範圍很廣,放大倍率範圍在1.0 μ m/步長到0.1 μ m/步長和可變圖案遮罩尺寸之間。此外,步進器的輕巧、緊湊的框架旨在增強操作員的舒適性和整體易用性。總體而言,NSR 2005 i12D Wafer Stepper是一個極其精確和高效的晶片陣列系統,旨在提供最高質量和準確性。NIKON NSR 2005 i12D Wafer Stepper具有最大12英寸晶片陣列的功能,是晶片陣列在高級半導體加工中的理想選擇,其目標應用要求最高的精度和吞吐量。