二手 NIKON NSR 2005 i12D #293817940 待售

NIKON NSR 2005 i12D
ID: 293817940
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.5-0.63 Resolution: 350 nm DCO:  60 MMO: 70 Throughput (WPH): 70.
NIKON NSR 2005 i12D(Metrology Stepper)是為高精度計量和晶圓制造而設計的先進晶圓步進器。步進器具有廣泛的特性和功能,使其成為研究和生產應用程序的理想選擇。NSR 2005 i12D有一個12英寸的掃描字段,它提供了比大多數其他可用步進器更大的曝光面積。這種步進器具有高分辨率,高達0.65微米,並且能夠連續處理多達十二種不同的圖像模式。它包括一個低振動、高動態對準系統,在暴露過程中保證相對精度。NIKON NSR 2005 i12D具有高速舞臺設計,能夠實現高精度的對準和精細的移動控制。它還有一個先進的晶圓模擬成像系統,允許高精度的控制和曝光。NSR 2005 i12D還提供了可靠和高效的曝光過程,這對生產應用非常重要。NIKON NSR 2005的高速i12D加上低噪聲水平,確保了對校正的快速穩定響應,因此可以優化和控制曝光時間。對於計量應用,NSR 2005 i12D能夠提供測量和監視過程參數所需的絕對精度,這些參數對於成功的制造過程至關重要。步進器還具有集成的高精度步進電機和激光幹涉儀,可為每次曝光提供測量和高度可重復的參數。此外,NIKON NSR 2005 i12D還具有超長曝光範圍、高級粒子檢測、優化基板檢測以及用於檢查和測量的高級攝像頭接口等高級功能。它可以連續監測基板表面,獲得最高的精度和重復性。NSR 2005 i12D包括一個集成的圖像處理系統,允許用戶通過實時反饋監視曝光過程。總體而言,NIKON NSR 2005 i12D是一種功能強大且可靠的晶圓步進器,專為高精度計量和晶圓制造而設計。其廣泛的特性和能力,加上高速、低噪音、高精度,使其成為研究和生產應用的理想選擇。
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