二手 NIKON NSR 2005 i12D #293831216 待售
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NIKON NSR 2005 i12D是一種掃描晶圓步進器，為半導體器件制造提供先進的高分辨率成像能力。它有一個自動化對準設備，最多有八個內置階段，用於多曝光和晶圓級對準。該i12D擁有最先進的自動聚焦和自動定心系統,其較大的聚焦深度確保了廣泛基板上的出色圖像一致性。NSR 2005 i12D的最大分辨率為12nm,全場圖像尺寸為22mm x 27mm,最大晶圓尺寸為8英寸（200mm）,最大掃描面積為24mm x 24mm,最小步長為5um。該系統設計用於軟X射線、中紫外線和高達10倍的常規光學設備。此外,步進器還支持一系列四元透鏡、二元透鏡和八進制透鏡,允許用戶優化圖像分辨率,即使在高放大倍數下也能檢測到小特征。NIKON NSR 2005 i12D有一個綜合控制單元。它包括一個外部接口和用於控制和監控機器特性和操作的集成軟件。用戶可以調整步進器的維護操作，如監視器晶片的形狀和位置、曝光、背景和水平。用戶甚至可以自定義掃描開始區域並重置掃描周期。步進器還具有堅固的晶圓處理功能,可提高穩定性和可重復性。刀具的晶片支架設計用於使用多個壓電元件固定晶片,無幹擾的雙軌資產可確保晶片表面完全平整。它還設計了一個振動最小化模型，減少了階段沈降時間，並提供了一個無振動的掃描環境。總體而言,NSR 2005 i12D是一種多功能晶片步進設備,專為高精度成像和制造而設計。其先進的功能和強大的晶圓處理功能使用戶能夠為各級生產產生出色的成像效果。
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