二手 NIKON NSR 2005 i6 #293652747 待售

NIKON NSR 2005 i6是一種晶圓步進器，設計用於處理大批量和高混合生產。它提供卓越的吞吐量性能,提供4到6英寸的基板尺寸,速度比同類NIKON系統快2.5倍。該設備采用「智能曝光」計算機控制系統，可自動調整照明和曝光時間，從而在任何類型的抗蝕劑上達到最佳效果。NSR 2005 i6具有高性能的雙曝光頭,可以快速處理復雜的晶圓模式。曝光頭采用鹵素和汞燈的組合，以盡量減少紫外線照射，並盡量減少由於曝光時間和強度而引起的抗拒模式變化。曝光頭使用高分辨率的四分之一微米標線和精確的高放大投影光學器件，以確保高分辨率的圖像和均勻性。曝光頭具有可調諧的光照強度，可以快速適應不同尺寸和類型的光致抗蝕劑。這些光學器件是為非常低的失真水平而設計的，消除了圖像失真，使設備對於先進的光刻應用極為精確。NIKON NSR 2005 i6是一種可重復、無與倫比的精密步進器，擁有最先進的光學系統之一。該機器提供了非常低的對準誤差水平，可以快速容納不同尺寸和抗蝕劑的基板。該工具旨在提供高吞吐量和出色的一致性,即使在高混合生產環境中也是如此。最後,NSR 2005 i6配備了能夠處理任何類型算法的高性能控制器。它可以方便地對坐標和曝光時間進行編程，包括自動對焦、邊緣和中心確定以及一般的可編程邏輯等功能。這可以釋放操作員專註於更復雜的任務,同時提供高吞吐量和統一性。