二手 NIKON NSR 2005 i6 #9269102 待售

NIKON NSR 2005 i6是一種晶圓步進器，為各種應用提供高分辨率成像。它為柔性處理提供了廣泛的曝光參數，旨在為一系列掩模和電路模式提供可靠的操作和高產率。該機為5軸設備，具有獨特的設計，允許從腔室的正面、側面和頂部可見。它配備了自動對準系統，以確保在曝光時標線和晶片的精確對準。NSR 2005 i6采用了完美的步進方法,即使是最復雜的特征也能實現極其精確的圖像放置。這項技術允許以最小的配準誤差~ 0.5 nm分辨率,並且可以進一步優化曝光參數以獲得更高的精確度。紅外對準裝置還能夠提供各種電路模式的精確叠加對準，機器的3D對準補償晶圓和標線之間的任何傾斜誤差，從而能夠對極小的特征進行成像。NIKON NSR 2005 i6有一個自我調節的全閉環掃描工具，以確保即使是最具挑戰性的光掩模的分辨率。此資產可實現高效的註冊準確性,並最大程度地減少生產過程中的缺陷影響。該工具還配備了內置的圖像評估模型,以確保每次曝光時都能產生高質量的圖像。NSR 2005 i6利用集成的載波和晶圓處理程序來提高吞吐量和效率。集成的空氣軸承式處理機提供精確的操控和最佳的表面保護。該設備還配備了低凹凸阻力裝置，以減少顆粒的附著力，優化花紋邊緣的打印。該技術有助於控制模內變異,並與綜合圖像評估相結合,產生一致的高產率。NIKON NSR 2005 i6配備了可靠性監控和支持子系統等多種功能，如Reflow烤箱和顆粒監控系統，可幫助進行持續維護。該工具還配備了以太網連接,可輕松訪問和與網絡中的其他節點通信。這樣可以輕松跟蹤刀具狀態,並在過程優化過程中提供進一步的支持。