二手 NIKON NSR 2005 i8 #190066 待售

NIKON NSR 2005 i8是一種最先進的晶圓步進設備,它將高精度光學器件與自動化集成在一起,可實現各種基板的精確陣列。NSR 2005 i8包含用於生產工作環境的高級功能,包括快速標線、即時掃描、高對齊精度、高生產率和低擁有成本。步進器也經過優化，可用於計量應用的先進測量和檢查設備。NIKON NSR 2005 i8以獲得NIKON專利的Pulse Drive技術為基礎，設計為高吞吐量，最大吞吐量可達每小時200晶圓。Pulse Drive技術可減少色差,並允許更快的掃描速度,分辨率高達25 nm。NSR 2005 i8包括一個減少色度系數的非球面透鏡，這有助於提高光刻的均勻性和減少設置時間。該系統還具有完全可擴展性,可用於各種生產設置。NIKON NSR 2005 i8能夠處理高度復雜的模式,包括線寬降低到0.3微米。該單元還集成了一個獨特的分期機，使多個曝光區域能夠按一個序列進行批加載和處理。NSR 2005 i8采用全自動晶片處理技術,可確保最大程度的刀具性能和準確性。NIKON NSR 2005 i8集成了多種計量和缺陷檢測工具，使其非常適合大批量生產應用。該資產具有高級報告和日誌記錄功能,允許用戶跟蹤模式暴露錯誤並確定趨勢。NSR 2005 i8還集成了一個基板對齊監控器,該監控器有助於減少基板傾斜對齊錯誤並提高吞吐量。NIKON NSR 2005 i8設計堅固可靠，具有溫度過高保護、無汙染環境和集成安全模型等特點。NSR 2005 i8是一款多功能設備，能夠處理各種應用，從半導體生產到印刷電路板制造。NIKON NSR 2005 i8還與各種附件和軟件組件完全兼容，提供了完全集成可靠的光刻解決方案。