二手 NIKON NSR 2005 i8 #9016036 待售

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製造商
NIKON
模型
NSR 2005 i8
ID: 9016036
晶圓大小: 2"-6"
Wafer steppers, 2"-6".
NIKON NSR 2005 i8是一種高性能晶圓步進器,設計用於低批量的中試生產和晶圓碰撞應用。它配備了一個高分辨率的12英寸晶圓級和一個剛性框架,用於精確和可重復的晶圓對準和放置顛簸。i8具有8英寸步進柱和兩級旋轉功能,可實現寬範圍對準和最大投影倍率高達750倍。步進器配備先進的照明系統,提供晶圓觀測和照明的精確控制,以實現最佳的圖樣穩定性。先進的0.75微米分辨率(低至0.3微米頻率)為具有最小線寬的均勻、銳利且定義清晰的圖案提供了出色的對比度和定義。它還能夠檢測用於計量和檢查應用的低對比度移相器。I8進一步配備了多重曝光模式,以最大程度地減少處理時間,提高光刻作業的多功能性。其親通量技術根據模式大小、曝光條件、晶圓加載狀態和附加符號動態調整步進參數。這允許操作員在從較大特征尺寸過渡到較小特征尺寸時快速調整參數。先進的晶片加載系統確保了晶片處理的增強。該系統采用獨特的加載接口設計,使操作員能夠從上到下快速移動晶片,以加快進程。它還集成了晶圓柔膜處理功能。NSR 2005 i8是一種經濟高效、高性能的晶片步進器,旨在滿足低批量生產和晶片碰撞工藝的要求。它旨在為一系列晶圓步進器應用提供最高分辨率和準確性,是住宅半導體制造工藝的理想選擇。
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