二手 NIKON NSR 2005 i8A #293689926 待售
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ID: 293689926
晶圓大小: 6"
優質的: 1991
Stepper, 6"
Wafer stage: Ball screw style
(2) Wafer loader indexers
Wafer loader type: KEYENCE and OMRON sensors for clear wafers
Wafer loader pre-alignment 2
Wafer type: Flat
Illuminator type: 1500 W
Reticle libraries
Reticle load / Unload arms: Open / Close (20 mm)
Ceramic ring chuck with pre-alignment
Focus calibrate
TTL Reticle alignment
Resolution: 0.5 micron
Computer type: PDP11
Reticle size: 5"
Barcode reader
Autofocus: Single point
Movable microscopes: 15/17.5/20 mm
LLTC: Standard air
LIA
FIA
LSA
Chip levelling
ISS
SEC2
No PPD
1991 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A是一種高度精確可靠的全場晶圓步進器。該設備提供了一個先進的平臺，實現精密基板的高吞吐量生產，具有優越的模式識別效果和較低的整體吞吐量時間。NIKON NSR 2005I8A的分辨率圍繞一個高度先進、分辨率μ 0.4米、基於掃描的照明系統，利用32步垂直視場。步進器還具有多向模式識別單元，使其能夠快速檢測和放置任何形狀的基板。NSR-2005I8A配備了完整的5軸能力，包括3個旋轉軸、兩個X-Y平移軸和一個Z軸。此設置允許步進元件和基板的最精確定位和對齊。此外，NIKON NSR-2005I8A采用高精度光學平臺、直驅電機和基於FEM的高通量對準算法。這種先進的工具可以提供卓越的模式識別結果和快速的吞吐量時間，使它能夠高效地處理復雜的基板。此外,NIKON NSR-2005 I8A還配備了多種功能,可提供更大的用戶控制。這些功能包括多工具功能,使操作員能夠即時在不同的光學元件之間快速切換。此外,NIKON NSR 2005 I 8A還包括一個獨特的幾何特征,稱為「散焦偏移資產」（Defocus Offset Asset）,它旨在幫助減少因散焦錯誤引起的光學成像問題。最後,NSR 2005I8A還具有集成工具的綜合模型。這種設備便於將步進器連接到各種其他組件和程序。這些集成工具為步進器提供了一個窗口,使操作員能夠利用各種軟件和硬件工程應用程序。總之，NSR-2005 I8A是一種高度先進的特征填充晶片步進器。該系統配有0.4米分辨率μ基於掃描的照明單元、旋轉5軸設計、先進的集成光學和電機系統以及一套強大的集成工具。這些特性加在一起,可以實現快速的吞吐量時間,並以最高的精度和精度準確地放置任何形狀的基板。
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