二手 NIKON NSR 2005 i8A #9159993 待售

NIKON NSR 2005 i8A是由NIKON Precision Inc.於2005年開發的亞微米、狹縫型晶圓步進器。步進器基於公司專有的場透鏡浸沒技術，經過優化，支持包括小型化半導體和納米加工工藝在內的廣泛應用。NIKON NSR 2005I8A配備了兩組鏡頭，它們協同工作以放大圖像或圖樣並減少像差。第一組由非光束分割的場透鏡組成，旨在為成像提供平坦的波前。這些透鏡還能最小化內場曲率，實現均勻和高分辨率的成像。第二組由輔助透鏡組成，它們使用反射鏡在曝光階段正確聚焦來自現場透鏡的光。步進器還配備了VCM（可變質心）系統，該系統能夠快速和高度精確地調整曝光能量和聚焦位置，允許亞微米特征的精確曝光。此外，NSR-2005I8A有一個內置的曝光控制系統，精確調節光線模式，確保曝光能量的高均勻性和可重復性。NSR 2005I8A還具有獨特的舞臺設計。步進器使用雙級配置,允許在晶圓平面內快速精確地定位。這樣可以在曝光周期內實現更快的吞吐量和更高的準確性。此外，步進器還配備了真空卡盤，用於可靠的晶片夾緊和溫度控制器，用於均勻的晶片溫度。總體而言，NSR 2005 i8A是一種可靠和高性能的晶圓步進器，適用於半導體和納米加工工藝的廣泛應用。步進器的雙級設計、現場鏡頭浸入式技術和曝光控制系統，使亞微米特性的曝光準確、均勻。