二手 NIKON NSR 2005 i8A #9250072 待售

NIKON NSR 2005 i8A晶圓步進器是半導體制造中先進光刻工藝所需的關鍵設備。它是一種精密的機器，能夠在薄基板上產生極小的特征。NIKON NSR 2005I8A由主機、對準臺、投影光學設備和曝光源組成。主機由真空密室、進料和分級臂以及機動定位級組成。真空密室保護舞臺免受空氣汙染，這會影響暴露過程的精度和裝置產量。室內是曝光源，由臭氧或深紫外線兩個照明源之一組成。曝光源的選擇將取決於所使用的曝光罩類型。例如，在使用石英制成的曝光面罩時使用深紫外線。NSR-2005I8A投影光學系統由一系列透鏡和反射鏡組成，為所需的器件層提供必要的放大和聚焦參數。對光學器件進行了優化,以提供可實現的最高分辨率級別和特征尺寸。NSR-2005的對齊階段I8A使用精密編碼器和伺服電動機來引導X、Y和θ平面中的階段。這些階段校正對於保持模具對模具放置的準確性和對齊的關鍵特征至關重要。NSR 2005I8A旨在通過提供最高級別的可重復性和準確性來提高設備產量和設備公差。它的特點包括高分辨率成像、高效率的吞吐量和先進的過程控制單元，以保持敏感暴露過程的穩定環境。步進器利用自動視線對準機，可以檢測和校正錯位，並監控基板均勻性，以確保每次都能生產出質量最高的零件。總體而言,NSR 2005 I 8晶圓步進器是一種非常寶貴的先進光刻設備,為半導體行業提供高速、精確和可重復性。這種先進的工具能夠在極薄、細膩的基板上創建最復雜的圖樣，否則傳統方法將無法生產。